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Sustrato cerámico de nitruro de aluminio (AlN)
El sustrato cerámico de AlN es una nueva generación de sustrato cerámico de alto rendimiento, con alta conductividad térmica (el valor teórico es 319W / mK, la conductividad térmica del sustrato comercial de AlN es superior a 140W / mk), baja constante dieléctrica (8.8) y pérdida dieléctrica (~ 4 × 104) y coeficiente de expansión térmica (4,4 × 10-4 / ℃) combinado con silicio, composición química AI 65,81%, N 34,19%, gravedad específica 3,261 g / cm3, blanco o blanquecino, incoloro y transparente monocristal, la temperatura de descomposición por sublimación bajo presión normal es 2450 ℃ .
Sustrato cerámico de nitruro de aluminio, alta conductividad térmica, buen rendimiento eléctrico, coeficiente de expansión térmica cercano al de la oblea de Si, alta resistencia, resistencia a altas temperaturas, resistencia a la corrosión química, alta resistividad, baja pérdida dieléctrica, no toxicidad, es un sustituto de Cerámica BeO El material ideal es un sustrato ideal de disipación de calor de circuito integrado a gran escala y material de embalaje.
Se aplicará principalmente: circuitos híbridos de alta densidad, dispositivos de potencia de microondas, dispositivos electrónicos de potencia, componentes optoelectrónicos, semiconductores y otros productos hechos de material de sustrato de refrigeración de alto rendimiento y material de encapsulación, ampliamente utilizado en dispositivos de comunicaciones, el LED de alto brillo, potencia electrónica y otras industrias.
Principales índices de desempeño de AlN ( nitruro de aluminio) sustrato cerámico | |
Contenido de rendimiento | Rendimiento |
Densidad aparente (g / cm3) | 3.335 |
Resistencia al choque térmico | Sin grietas, ráfagas |
Conductividad térmica (30 ℃, W / mk) | ≥170 |
Coeficiente de expansión (/ ℃, 5 ℃ / min, 20-300 ℃) | 2.805 × 10-6 |
Resistencia a la flexión (MPa) | 382,7 |
Resistividad de volumen (Ω.cm) | 1,4 × 1014 |
Constante dieléctrica (1MHz) | 8.56 |
Estabilidad química (mg / cm2) | 0,97 |
Resistencia a la rotura (KV / mm) | 18.45 |
Rugosidad superficial (μm) | 0,3 ~ 0,5 |
Deformación (longitud ‰) | ≤2 ‰ |
Color exterior | Denso, de grano fino / gris oscuro |